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日本真空計的優點
更新時間：2025-08-12
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日本真空計以其高精度、寬量程及良好的環境適應性等優勢，在半導體、真空鍍膜等領域應用廣泛，具體優點如下：
測量精度高：部分日本真空計采用先進的測量原理和技術，如日本 wsc 數字廣域真空計 WVG-8802DM 型，將皮拉尼真空計和電離真空計相結合，能自動切換測量模式，確保測量的連續性和準確性。OKANO 岡野的 APG-202N32 真空計精度可達 ±0.25% FS±1dig。
測量范圍廣：許多日本真空計可覆蓋較寬的壓力范圍，滿足不同場景需求。如岡野制作所的 AMC 型真空計，測量范圍為 5.0×10?2~1.0×10?Pa。WVG-8802DM 型真空計測量范圍能從 4.9×102Pa 到 1.0×10??Pa。
穩定性好：一些真空計具備自動零點校正功能，可減少溫度漂移影響，如 OKANO 的 GP 系列真空計。日本山武 azbil 藍寶石隔膜真空計采用零點不易漂移的構造，且通過先進的信號處理技術，實現了溫度特性、直線性等誤差小的檢測。
響應速度快：部分產品響應時間短，能快速反映真空度變化，適用于動態真空控制。如 OKANO 的熱規（GP 系列）響應時間＜0.5 秒。
抗干擾與抗污染能力強：OKANO 的電離規采用抗氧化陰極（IG-500A），壽命延長 3 倍，電容規（CG 系列）全金屬密封，耐酸堿腐蝕。愛發科皮拉尼真空計由高度耐腐蝕的鉑制成燈絲，且具有高抗沖擊性的結構設計。
功能多樣便捷：日本真空計通常具備多種實用功能，部分真空計配備外部觸點，可通過數字開關任意設置壓力，還具備燈絲遠程 ON/OFF、燈絲斷開信號等控制信號，便于集成到自動化設備中。一些真空計還設有燈絲加熱清洗功能，可去除燈絲上的油分等附著物，保持測量準確性。
